2022年5月27日，廣東省真空學(xué)會(huì)根據(jù)《廣東省真空學(xué)會(huì)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)管理辦法》規(guī)定，批準(zhǔn)發(fā)布T/GVS 006—2022《半導(dǎo)體射頻電源和微波電源的輸出偏差穩(wěn)定性測(cè)量方法》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)于2022年5月27日起實(shí)施。

《半導(dǎo)體射頻電源和微波電源的輸出偏差穩(wěn)定性測(cè)量方法》規(guī)定了半導(dǎo)體射頻電源和微波電源的輸出偏差穩(wěn)定性測(cè)量方法的術(shù)語(yǔ)和定義、符號(hào)和縮略語(yǔ)、總則、測(cè)試條件、測(cè)試要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于電氣工作頻率在100 kHz～3 GHz的半導(dǎo)體裝備用射頻電源和微波電源產(chǎn)品。

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