高真空和超高真空被用于尖端材料研究和微電子生產(chǎn)中。電離計(jì)是用來(lái)測(cè)量此類真空環(huán)境下壓力的唯一方法。制造電離計(jì)使用的不同方法，以及電離過(guò)程中使用的不同氣體，導(dǎo)致不同電離計(jì)之間的相對(duì)靈敏度系數(shù)有很大差異，而且都缺乏長(zhǎng)期穩(wěn)定性。這些制造方法的性能可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化來(lái)大大改善。

2020年12月28日消息，最近完成的歐洲創(chuàng)新與研究計(jì)量計(jì)劃（EMPIR）項(xiàng)目“為電離真空計(jì)制定文件標(biāo)準(zhǔn)”（Towards a documentary standard for an ionisation vacuum gauge，16NRM05）致力于為改良后并已標(biāo)準(zhǔn)化的電離計(jì)規(guī)定所有相關(guān)參數(shù)。這些技術(shù)成果將為關(guān)于電離計(jì)的新ISO標(biāo)準(zhǔn)提供參考依據(jù)。

該項(xiàng)目開(kāi)發(fā)了一個(gè)具有標(biāo)準(zhǔn)功能和性能的標(biāo)準(zhǔn)化電離計(jì)，這意味著它可以用來(lái)實(shí)現(xiàn)測(cè)量的可追溯性。

該電離計(jì)將供校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室使用，為校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室提供一個(gè)可靠的參考標(biāo)準(zhǔn)，并允許電離真空計(jì)的制造商按照即將出臺(tái)的ISO技術(shù)規(guī)范生產(chǎn)該真空計(jì)，這將是一個(gè)新的工作組的主題，也是EMPIR的一個(gè)新項(xiàng)目“開(kāi)發(fā)一項(xiàng)ISO技術(shù)規(guī)范‘穩(wěn)定電離真空計(jì)的特征’”（Developing an ISO Technical Specification "Characteristics for a stable ionisation vacuum gauge，20SIP01，ISO量具）。

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